安徽多单位联合印发通知：全力做好夏粮收购工作

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

亚历山德罗·阿尔维斯·多·纳西门托

埃尔克波因特 (南达科他州)

李传卿

　　自2019年成立以来，锦里社区始终坚持党建引领，将志愿服务作为推动文明创建和社区治理的关键抓手，构建服务百姓的“生态圈”，打造居民共享的“生活圈”，在社区内构建出多元互动共治共享的格局，绘就出一幅幸福生活新图景。

　　党建引领，筑牢文明根基。社区充分发挥党支部战斗堡垒作用，积极构建党建引领下的社区治理新模式。以党建为核心，凝聚各方力量，形成了“党建引领、物业联动、党群发动、多网融合”的良好工作局面。社区党员率先垂范，主动亮身份、作表率，组建了以党员志愿者为骨干的志愿服务队伍。通过建立居民QQ群、微信群等线上沟通平台，以及老带新的志愿者招募模式，不断壮大志愿者队伍，如今已有100多名党员志愿者活跃在社区的各个角落，为居民排忧解难，成为社区文明建设的中流砥柱。

　　志愿服务，传递文明力量。社区构建了完善的志愿服务体系，目前拥有红色先锋、情暖夕阳、益修到家、心灵花园、蓝精灵亲子成长营、百花艺术团、一米阳光等特色鲜明的志愿服务队伍，并成立了先锋志愿者协会、同心志愿者协会、夕阳红互助协会等13个社会组织团体。社区围绕居民需求，整合社区志愿服务力量，开展了丰富多彩的志愿服务活动。实施“情暖夕阳”项目，每月为高龄老人举办集体生日会，让老人们感受到社区大家庭的温暖。实施“益修到家”项目，组织志愿者上门为孤寡老人提供心理辅导、家电维修等贴心服务，解决他们生活中的实际困难。组建“法律帮帮团”，开展法律知识讲座、法律咨询等活动，提高居民的法律意识和维权能力。健康卫士志愿服务队定期为居民举办健康讲座、开展义诊活动，为居民的健康保驾护航。

　　此外，社区打造了楼栋“微驿站”平台，为楼栋长配备了包括五金工具、急救药包、文体用品等100多项便民服务设备，让楼栋长更方便地带头开展志愿服务。依托锦里社区学院，开展志愿服务、社区治理培训，提升志愿服务专业化水平，让服务更加精准、高效地送到居民家门口。

　　创新治理，提升文明水平。为满足居民需求，提升社区治理水平，锦里社区坚持因地制宜，创新构建了楼栋议事角、网格议事亭、社区议事厅三级议事平台。楼栋议事角依托架空层设立，由党员楼栋长负责，定期收集居民意见，解决家庭矛盾、邻里纠纷等琐事，实现“遇事不出楼，办事家门口”。网格议事亭按照“街巷定界、规模适度、无缝覆盖、动态调整”的原则划分网格，每个网格配备红色物业管家、专职网格员和党员楼栋长，网格长定期召开议事会，有效解决小区停车难、宠物管理、新建非机动车充电棚等一系列热点难点问题，实现“人往格中走，事在格中办”。社区议事厅每月根据网格议事反映最强烈的问题召开主题议事会，把辖区单位、物业、个体商户等纳入社区议事参会人员范围，与公安、城管、市场监管、卫健等部门建立“月调度、季点评”议事机制，解决新增晨练点、非机动车充电棚等热点难点问题，实现“社区是我家，治理靠大家”。

　　党建引领志愿红，绘好幸福生活景。锦里社区坚持以党建为引领，积极探索文明实践与基层治理深度融合的新路径，让“红色引擎”激活基层治理，让文明实践浸润居民生活，打造了一个充满温度、富有活力、文明和谐的幸福家园。（记者 张 静 实习生 李哲皓）

田家庵区洞山街道锦里社区：党建引领志愿红 共筑文明新家园

山貘

剛薩·緯德蘭吉

細南乳魚

　　洞头网讯(记者 余佩遥 陈超凡)6月28日上午，区委书记郭云强主持召开半年度重点工作调度会暨四套班子领导交流会，分析研判上半年各项工作形势，研究部署下半年工作，力争半年“双过半”，确保全年“满堂彩”。区领导刘素婷、林铁等参加会议。

　　会上，区四套班子领导就专班工作和分管领域重点工作进展情况依次进行了汇报交流，并就工作中存在问题提出攻坚举措。

　　郭云强逐一点评，肯定了各重点专班、重点工作推进成效。他指出，下步，全区上下要打起“十二分”精神，拿出超常规力度、超常规举措，稳住二季度，决胜半年红，交出高分答卷！

　　郭云强强调，要实干争先大比武。各专班要发挥“尖刀连”作用，突出科学、精准、抓紧，做到目标更聚焦，标准更严格，责任更明确，配置更灵活，切实增强工作“前瞻性”，找到破难“要害处”，打造硬核“主业绩”，紧盯时间节点，强化闭环管理，用好督查利剑，加快打造一批标志性成果。要大干三季度决胜四季度。以更大力度、更实举措，紧盯指标发力，推动经济稳进提质，持之以恒攻坚重点项目建设，持续做好招大引强突破、城乡精建精美、民生事项服务，抓实抓好要素向上争取工作，为完成全年工作目标任务打下坚实基础。要敢于担当作表率。领导干部要拿出苦干实干的行动，拿出加压奋进的劲头，高位谋划、俯身做事，克难攻坚、创新突破，创先争优、尽职包联，凝聚工作合力，全力抓好各项工作高效落实，奋力推动经济社会高质量发展。

半年度重点工作调度会暨四套班子领导交流会召开：力争半年“双过半” 确保全年“满堂

全国戏剧文化奖

白沙村

马伦哥桥

活动现场氛围温馨而热烈。参赛棋手们精神饱满、沉着应战，在楚河汉界之上排兵布阵、运筹帷幄，车马纵横、落子从容。大家秉持“友谊第一、比赛第二”的原则，凝神对弈、切磋交流，清脆的落子声与阵阵笑语交织，尽显棋艺魅力与人文温度。

城关镇月南区域养老服务中心作为汉阴县首家区域养老服务中心，聚焦“15分钟养老服务圈”建设，为周边社区老人提供助餐、助医、文娱等多元服务，是长者安心乐享晚年的温馨家园。奕林棋苑以此次联谊赛为契机，走进养老服务中心，既丰富了棋苑内部交流形式，也为老年生活增添乐趣，践行社会责任，传递敬老爱老的文明新风。

编辑：邱潮

编审：文婷 黄琪雅

终审：邹菲

汉阴：以棋会友暖夕阳 弈趣横生享时光

英國廣播公司信託基金

山西國際電力

達妮埃拉·貝爾格

品牌代表品质，用品质赢得一片掌声

福美珈的产品定位中高端，研发、设计与生产工艺标准远高于行业标准，旨在成为世界中高端橱柜。公司旗下的橱柜品牌更是列入中国名优橱柜品牌行列中，福美珈以自身最强的实力和值得信懒的品质赢得行业的好评。

记者在采访福美珈公司相关负责人时，该品牌的负责人说得最多的一句就是“好品牌源于有好品质”。福美珈非常注重消费者对品牌的肯定度与认可，为此，更是花大血本来生产。从原料采购到生产设备，再到专业人员的配备，无不以优质为前提。在福美珈品牌经营下带给消费者的是高品质的保障，特别是福美珈推出引领时尚品质生活品质的新时代橱柜产品，更是极大地满足了消费者对于新生活的要求。福美珈品牌带来的品质效应，赢得了市场的一片掌声，同时也收获不少忠实的消费者。

据了解，福美珈橱柜在市场上的反应强烈。刚刚过去的双11，各地实体店整体销售更是呈直线上线，店内的工作人员还一度忙不过来。

由店内火爆的销售情况，我们就不难看出来，福美珈橱柜品牌好，口碑佳，消费者拥护程度也很高。

实力雄厚，见证一代环保橱柜新标杆

据调查了解，福美珈作为中国十大橱柜品牌本身的产品质量已经深得市场肯定，现代化的生产设备与精良的管理让福美珈赢得众多消费者的信赖。作为福美珈的忠实客户，林先生告诉记者，看到福美珈在央视与湖南卫视两大主流媒体上展播，感受到了不仅是福美珈产品的可信懒，更是对福美珈实力的惊叹。

对于福美珈此次向媒体联合展播，充会显现出企业的品牌雄厚的实力，同时也体现出企业品牌文化和市场战略的完胜性。用实力和品质说话，用实力向消费者展现品牌的强大，这就是中国十大环保橱柜福美珈的特色。

福美珈橱柜用品牌实力+优质产品，赢得了行业一次次的肯定。同时加上大力广告宣传轮播展现，为品牌赢得美誉度作铺垫。

品牌代表品质，福美珈橱柜用高品质铸造行业美称

臺中市太平區建平國民小學

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青木书店

卡尔卡松城堡